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Enregistrement W2047534031 · doi:10.1063/1.371923

Comparison of the annealing characteristics of resistivity and vacancy defects for implant isolated <i>n</i>-type GaAs

2000· article· en· W2047534031 sur OpenAlex
Andrew P. Knights, S. Ruffell, P. J. Simpson

Pourquoi ce travail est dans la base

Une base qui oublie comment elle a trouvé un travail ne peut pas être vérifiée. Voici les voies qui ont admis celui-ci.

affAu moins un auteur déclare une institution canadienne dans l'instantané OpenAlex épinglé.

Notice bibliographique

RevueJournal of Applied Physics · 2000
Typearticle
Langueen
DomaineEngineering
ThématiqueMuon and positron interactions and applications
Établissements canadiensWestern University
Organismes subventionnairesRoyal Society
Mots-clésElectrical resistivity and conductivityAnnealing (glass)Vacancy defectMaterials scienceGallium arsenidePositron annihilation spectroscopyIon implantationAnalytical Chemistry (journal)DopingDoppler broadeningAtmospheric temperature rangeGalliumResistive touchscreenSiliconCondensed matter physicsPositronOptoelectronicsSpectral lineChemistryIonMetallurgyPositron annihilationElectronPhysics

Résumé

récupéré en direct d'OpenAlex

Gallium arsenide layers, Si-doped at concentrations of 2×1019, 1×1019, and 5×1018 cm−3, grown on SI substrates were implanted using multiple-energy regimes, with O+, He+, and H+, respectively, to produce resistive structures. Sample resistivity was measured following annealing in the temperature range 400–800 °C. Maximum resistivity values were achieved after annealing at 600 °C for the O+ and He+ and 500 °C for the H+ implanted sample. Equivalently implanted and annealed semi-insulating GaAs samples were analyzed using positron annihilation spectroscopy in the gamma-ray Doppler-broadening mode, a technique which is predominantly sensitive to negatively charged, or neutral, vacancy-type defects. The annealing behavior of the resistivity is in good agreement with previous reports. Vacancy defects to which the positron is sensitive are found to be removed from all semi-insulating samples at a temperature which is 100 °C below that at which maximum resistivity is achieved. Therefore, such vacancy types can be eliminated as the defect responsible for optimum electrical isolation of GaAs following implantation, and the source of vacancies necessary to annihilate such defects.

Récupéré en direct depuis OpenAlex et désinversé. Les résumés ne sont pas conservés dans cette base de données : les index inversés représentent 8,6 Go des 9,3 Go de texte de la base, et le serveur dispose de 13 Go libres.

Prédiction distillée sur la base complète

Imitation des enseignants

Ni prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.

score de la tête « metaresearch » (Codex)0,000
score de la tête « metaresearch » (Gemma)0,000
Version: codex-gemma-dda1882f352aStatut de validation: machine_predicted_unvalidated
Catégories candidatesaucune
Catégories consensuellesaucune
DomaineSignal candidat: aucune · Signal consensuel: aucune
Devis d'étudeSignal candidat: Expérimental (laboratoire) · Signal consensuel: Expérimental (laboratoire)
GenreSignal candidat: Empirique · Signal consensuel: Empirique
Score de désaccord entre enseignants0,103
Score d'incertitude au seuil0,194

Scores Codex et Gemma par catégorie

CatégorieCodexGemma
Métarecherche0,0000,000
Méta-épidémiologie (sens strict)0,0000,000
Méta-épidémiologie (sens large)0,0000,000
Bibliométrie0,0000,000
Études des sciences et des technologies0,0000,000
Communication savante0,0000,000
Science ouverte0,0000,000
Intégrité de la recherche0,0000,000
Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger)0,0000,000

Scores machine (provisoires)

Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.

Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.

Tête enseignante Opus0,014
Tête enseignante GPT0,269
Écart entre enseignants0,255 · la distance entre les deux têtes enseignantes sur ce seul travail
Statut de validationscore_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle