MétaCan
Menu
Retour à la cohorte
Enregistrement W2048537498 · doi:10.2494/photopolymer.19.467

Positive and Negative Lithography by Photochemical Metalorganic Deposition from Metal 2-ethylhexanoates

2006· article· en· W2048537498 sur OpenAlex

Pourquoi ce travail est dans la base

Une base qui oublie comment elle a trouvé un travail ne peut pas être vérifiée. Voici les voies qui ont admis celui-ci.

affAu moins un auteur déclare une institution canadienne dans l'instantané OpenAlex épinglé.

Notice bibliographique

RevueJournal of Photopolymer Science and Technology · 2006
Typearticle
Langueen
DomaineEngineering
ThématiqueNanofabrication and Lithography Techniques
Établissements canadiensSimon Fraser University
Organismes subventionnairesnon disponible
Mots-clésMaterials sciencePhotolithographyAmorphous solidPhotochemistryLithographyOxidePhotoresistNickelMetalTitaniumMolybdenumThin filmChemical vapor depositionInorganic chemistryChemistryNanotechnologyOrganic chemistryOptoelectronicsMetallurgy

Résumé

récupéré en direct d'OpenAlex

Direct, resist-free positive photolithographic deposition of various metal oxides was achieved using photochemical metalorganic deposition. The metalorganic precursors, manganese(II) 2-ethylhexanoate, nickel(II) 2-ethylhexanoate and molybdenum(II) 2-ethylhexanoate and mixtures of barium(II) 2-ethylhexanoate and titanium(IV) di-n-butoxide bis(2-ethylhexanoate), were all spin cast as amorphous thin films from solutions. Upon exposure to ultraviolet light, the organic components of the precursor are ejected from the film and the remaining metal is ultimately converted to amorphous metal oxide or mixed metal oxide. The photochemistry of the decomposition reaction of all precursors was monitored by Fourier transform infrared spectroscopy. Upon exposure to UV light irradiation, negative photolithography was observed. However, after a short period of exposure to UV light, positive pattern of the precursor can be developed. When this process is followed by a blanket exposure, the net result is the positive lithographic deposition of the metal oxide. By using these precursors and contact photolithography, the deposition of micron sized features of amorphous manganese, nickel and molybdenum oxide, and Ba1.13T0.17O was achieved, in both the negative and positive lithography methods.

Récupéré en direct depuis OpenAlex et désinversé. Les résumés ne sont pas conservés dans cette base de données : les index inversés représentent 8,6 Go des 9,3 Go de texte de la base, et le serveur dispose de 13 Go libres.

Prédiction distillée sur la base complète

Imitation des enseignants

Ni prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.

score de la tête « metaresearch » (Codex)0,000
score de la tête « metaresearch » (Gemma)0,000
Version: codex-gemma-dda1882f352aStatut de validation: machine_predicted_unvalidated
Catégories candidatesaucune
Catégories consensuellesaucune
DomaineSignal candidat: aucune · Signal consensuel: aucune
Devis d'étudeSignal candidat: Expérimental (laboratoire) · Signal consensuel: Expérimental (laboratoire)
GenreSignal candidat: Empirique · Signal consensuel: Empirique
Score de désaccord entre enseignants0,007
Score d'incertitude au seuil0,438

Scores Codex et Gemma par catégorie

CatégorieCodexGemma
Métarecherche0,0000,000
Méta-épidémiologie (sens strict)0,0000,000
Méta-épidémiologie (sens large)0,0000,000
Bibliométrie0,0010,001
Études des sciences et des technologies0,0000,001
Communication savante0,0000,000
Science ouverte0,0000,000
Intégrité de la recherche0,0000,000
Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger)0,0000,000

Scores machine (provisoires)

Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.

Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.

Tête enseignante Opus0,002
Tête enseignante GPT0,186
Écart entre enseignants0,185 · la distance entre les deux têtes enseignantes sur ce seul travail
Statut de validationscore_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle