A New Non-PRM Bumping Process by Electroplating on Si Die for Three Dimensional Packaging
Notice bibliographique
Résumé
A new bumping process on a Si die by electroplating without a photo-resist-mold (PRM) was assessed for the three dimensional (3D) stacking of Si dice. In this process, solder bumps were deposited selectively onto the surface of a Cu plugged-through silicon-via (TSV) in a Si die. Since lithography related processes to make a PRM for solder bumping were omitted, it can reduce the production time and cost for bumping. The substrate was a Si wafer, and TSVs were produced by deep-ion-reactive-etching (DRIE). As an insulation layer, SiO2 was formed by high-density-plasma-chemical-vapor-deposition (HDPCVD) or wet oxidation method. A Ti adhesion and an Au seed layers were deposited by sputtering. Cu was plugged into the vias by pulsed direct-current (DC) electroplating. The backside of the Si wafer was ground by chemical-mechanical-polishing (CMP). Sn bumps were electroplated on the Cu plugged vias by a current supplied through a Cu-overplated layer (COL) on the vias surface. As experimental results, wet oxidation provided a uniform SiO2 thickness through the via depth, whereas the SiO2 thickness by HDPCVD decreased with the via depth. The Ti and Au thicknesses also decreased along the via depth. In electroplating for Cu plugging, defect-free Cu plug was achieved by pulsed DC for 18 h, where one cycle composed of a 5 s cathodic term with −12.2 mA·cm−2 and a 25 s anodic term with 2.3 mA·cm−2. Sn bumping using COL without PRM was accomplished successfully at a current density of −30 mA·cm−2 for 15 min. The diameter and height of the Sn bumps ranged from 48.5 to 52 μm and 22 to 25 μm, respectively. The bumps had a rivet head shape without a columnar part and showed facets on the bump surface. The COL was removed by CMP without damage to the bumps.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,001 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,001 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».