Electronic structure of hydrogenated amorphous Si<sub>1–<i>x</i></sub>N<i><sub>x</sub></i> thin films using soft X‐ray emission and absorption measurements
Notice bibliographique
Résumé
Abstract Hydrogenated amorphous silicon nitride thin films (a‐Si1–x Nx:H) with x = 0.46, 0.54, 0.55 and 0.58 have been studied. The optical bandgaps of these materials were 2.41, 2.78, 3.29 and 3.85 eV and Urbach edge bandgaps were 2.80, 3.27, 3.85 and 4.04 eV (W. C. Tan et al., J. Mater. Sci., Mater. Electron. 20, S15–S18 (2009) [1]), respectively. The bandgaps determined in this work using soft X‐ray spectroscopy (SXS) are 3.92, 4.43, 5.18 and 5.36 ± 0.25 eV. These large bandgaps are most likely due to the surface sensitivity of the SXS measurements and possible oxidation of the films. The conduction and valence band edges are determined using a linear regression fit and the bandgaps show a similar trend to that of the optical bandgap. Using Density Functional Theory (DFT) calculations for the two crystalline phases of silicon nitride the core hole interaction is accounted for in these bandgap determinations. This shows that both N and Si states are involved in bandgap transitions. Comparison of amorphous SXS spectra with that of crystalline phases shows that the Si bonding environment is similar to that of the beta phase while the N bonding environment is similar to that of the gamma phase. This shows there is a degree of short range order in the films similar to that of α,β‐Si3N4 indicating tetrahedral SiN4. The spectra also show that the Si states with 3s‐symmetry decrease as a function of nitrogen concentration which is evidence of Si–Si bonds that would increase the Si 3s states. This increase in Si 3s‐states effectively decreases the bandgap. (© 2009 WILEY‐VCH Verlag GmbH & Co. KGaA, Weinheim)
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».