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Enregistrement W2056585017 · doi:10.1063/1.1383264

Chemical and thermal stability of titanium disilicide contacts on silicon

2001· article· en· W2056585017 sur OpenAlex

Pourquoi ce travail est dans la base

Une base qui oublie comment elle a trouvé un travail ne peut pas être vérifiée. Voici les voies qui ont admis celui-ci.

affAu moins un auteur déclare une institution canadienne dans l'instantané OpenAlex épinglé.

Notice bibliographique

RevueJournal of Applied Physics · 2001
Typearticle
Langueen
DomainePhysics and Astronomy
ThématiqueSemiconductor materials and interfaces
Établissements canadiensSteacie Institute for Molecular Sciences
Organismes subventionnairesnon disponible
Mots-clésMaterials scienceSiliconAnnealing (glass)TitaniumAmmonium fluorideIsotropic etchingScanning tunneling microscopeThermal stabilityMetallurgyEtching (microfabrication)NanotechnologyChemical engineering

Résumé

récupéré en direct d'OpenAlex

The suitability of titanium disilicide (TiSi2) contacts for use in electronic transport measurements on chemically modified Si(100) and Si(111) surfaces prepared in ultrahigh vacuum (UHV) or via wet chemical approaches has been examined. Rapid thermal annealing at 900 °C of patterned Ti lines was used to produce the C54 phase of TiSi2. Atomic force microscopy, UHV scanning tunneling microscopy, and resistivity measurements were used to characterize the TiSi2/Si system through different stages of the disilicide formation and subsequent high temperature annealing or wet chemical cleaning and etching. The contacts were found to maintain their integrity after annealing up to 1200 °C or 10 min etching in 40% ammonium fluoride (NH4F). Under these preparation conditions, the silicon surface in the immediate vicinity of the TiSi2 interface remains free from major defects, thus making titanium disilicide a particularly suitable material for constructing platforms for measurements of electrical transport of silicon surfaces as well as nanostructures fabricated on these surfaces.

Récupéré en direct depuis OpenAlex et désinversé. Les résumés ne sont pas conservés dans cette base de données : les index inversés représentent 8,6 Go des 9,3 Go de texte de la base, et le serveur dispose de 13 Go libres.

Prédiction distillée sur la base complète

Imitation des enseignants

Ni prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.

score de la tête « metaresearch » (Codex)0,000
score de la tête « metaresearch » (Gemma)0,000
Version: codex-gemma-dda1882f352aStatut de validation: machine_predicted_unvalidated
Catégories candidatesaucune
Catégories consensuellesaucune
DomaineSignal candidat: aucune · Signal consensuel: aucune
Devis d'étudeSignal candidat: Expérimental (laboratoire) · Signal consensuel: Expérimental (laboratoire)
GenreSignal candidat: Empirique · Signal consensuel: Empirique
Score de désaccord entre enseignants0,009
Score d'incertitude au seuil0,337

Scores Codex et Gemma par catégorie

CatégorieCodexGemma
Métarecherche0,0000,000
Méta-épidémiologie (sens strict)0,0000,000
Méta-épidémiologie (sens large)0,0000,000
Bibliométrie0,0000,000
Études des sciences et des technologies0,0000,000
Communication savante0,0000,000
Science ouverte0,0000,000
Intégrité de la recherche0,0000,000
Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger)0,0000,000

Scores machine (provisoires)

Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.

Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.

Tête enseignante Opus0,017
Tête enseignante GPT0,241
Écart entre enseignants0,224 · la distance entre les deux têtes enseignantes sur ce seul travail
Statut de validationscore_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle