Design and fabrication of giant micromirrors using electroplating-based technology
Notice bibliographique
Résumé
Giant micromirrors with large scanning deflection and good flatness are required for many space and terrestrial applications. A novel approach to manufacturing this category of micromirrors is proposed. The approach combines selective electroplating and flip-chip based technologies. It allows for large air gaps, flat and smooth active micromirror surfaces and permits independent fabrication of the micromirrors and control electronics, avoiding temperature and sacrificial layer incompatibilities between them. In this work, electrostatically actuated piston and torsion micromirrors were designed and simulated. The simulated structures were designed to allow large deflection, i.e. piston displacement larger than 10 μm and torsional deflection up to 35°. To achieve large micromirror deflections, up to seventy micron-thick resists were used as a micromold for nickel and solder electroplating. Smooth micromirror surfaces (roughness lower than 5 nm rms) and large radius of curvature (R as large as 23 cm for a typical 1000×1000 μm 2 micromirror fabricated without address circuits) were achieved. A detailed fabrication process is presented. First piston mirror prototypes were fabricated and a preliminary evaluation of static deflection of a piston mirror is presented.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».