Fabrication of surface plasmon waveguides and integrated components on ultrathin freestanding membranes
Notice bibliographique
Résumé
The fabrication and physical characterisation of waveguides and integrated components on freestanding membranes are described. The waveguides consist of a thin (20–25nm) narrow (∼5μm) Au∕Cr stripe, on an ultrathin (20–30nm) large-area (∼1mm2) freestanding Si3N4 membrane clamped around its perimeter to an underlying Si substrate. The integrated components are implemented with this waveguide and consist of Mach-Zehnder interferometers and couplers. The waveguide and components are dimensioned such that they propagate long-range surface plasmon-polariton waves in a vacuum (air) or H2O background. The fabrication process flow adopted and some specific process steps are described. Physical characterisation was conducted on structures having undergone intermediate process steps and on finished structures, and characterisation results are given and discussed. The structures were found to be robust enough for careful use, and to routinely sustain ∼3μN of point force without shattering.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,001 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,001 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,001 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».