H + ion-implantation energy dependence of electronic transport properties in the MeV range in n-type silicon wafers using frequency-domain photocarrier radiometry
Notice bibliographique
Résumé
Industrial n-type Si wafers (resistivity of 5–10Ωcm) were H+ ion implanted with energies between 0.75 and 2.00MeV, and the electronic transport properties of the implanted layer (recombination lifetime, carrier diffusion coefficient, and front-surface and implanted-interface recombination velocities s1 and s2) were studied using photocarrier radiometry (PCR). A quantitative fitting procedure to the diffusing photoexcited free-carrier density wave was introduced using a relatively simple two-layer PCR model in lieu of the more realistic but substantially more complicated three-layer model. The experimental trends in the transport properties of H+-implanted Si layers extracted from the PCR amplitude and phase data as functions of implantation energy corroborate a physical model of the implanted layer in which (a) overlayer damage due to the light H+ ions decreases with increased depth of implantation at higher energies, (b) the implanted region damage close to the interface is largely decoupled from the overlayer crystallinity, and (c) the concentration of implanted H+ ions decreases at higher implantation energies at the interface, thus decreasing the degree of implantation damage at the interface proper.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».