Vanadium oxide films for optical modulation applications
Notice bibliographique
Résumé
Thin films of vanadium oxide were prepared and studied for the electro-optical properties of semiconductor-metal transition. Vanadium oxide films with thickness of ~ 0.15μm were deposited on SiO<sub>2</sub>/Si substrates by reactive RF magnetron sputtering using a pure vanadium target under various ratios of argon and oxygen gases. The oxygen content in the mixed atmosphere has a significant influence on the semiconductor-metal transition characteristics. Both thermochromic and electrochromic modes were studied. In thermochromic mode, the oxide film deposited in an O<sub>2</sub>/Ar ratio of 1.2% exhibits 90% optical transmission in semiconducting state at room temperatures, while very low transmission at 5% in metallic state at 65°C, in the wavelength region of 8 to 12μm. In the near infrared region of 1 to 2μm, the transmission is about 60% in the semiconducting state and a few percents in the metal state. A corresponding three-order variation of resistivity was observed over the transition. The refractive indices (<i>n</i> and <i>k</i>) of the vanadium oxide films were measured using an ellipsometer in the near infrared region between 1 and 2 μm in both states. The index <i>n</i> decreases in metal state while <i>k</i> increases. The electrochromic phase transition of vanadium oxide was investigated by applying a pulsed voltage to minimize the heating effect. The required charge density for the phase transition is consistence with the Mott metal-insulator model. Longwave IR switching and modulation were demonstrated by electrically induced semiconductor-metal transition.
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Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,001 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,001 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,001 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
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score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
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