Texture of Al thin films deposited by magnetron sputtering onto epitaxial W(001)
Notice bibliographique
Résumé
Highly textured epitaxial metallizations will be required for the next generation of devices with the main driving force being a reduction in electromigration. Herein a model system of 190 nm of Al on a 140 nm layer of W grown on MgO 〈00l〉 substrates was studied. The W layer was 〈00l〉 oriented and rotated 45° with respect to the MgO substrate to minimize the misfit; the remaining strain was accommodated by dislocations, evident in transmission electron microscopy images. From high-resolution x-ray diffraction (XRD) measurements, the out-of-plane lattice parameter was determined to be 3.175 Å, and the in-plane parameter was 3.153 Å, i.e., the W film sustained a strain resulting in a tetragonal distortion of the lattice. XRD pole figures showed that the Al had four fold symmetry and two dominant orientations, 〈016〉 and 〈3 9 11〉, which were twinned with multiple placements on the epitaxial W layer. The driving force for the tilted 〈001〉 and 〈011〉 orientations of Al on W is due to strain minimization through lattice matching. These results show that 〈00l〉 Al deposited at ambient conditions onto W is difficult to achieve and implies that electromigration difficulties are inherent.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».