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Enregistrement W2063558949 · doi:10.1063/1.371839

Texture of Al thin films deposited by magnetron sputtering onto epitaxial W(001)

2000· article· en· W2063558949 sur OpenAlex

Pourquoi ce travail est dans la base

Une base qui oublie comment elle a trouvé un travail ne peut pas être vérifiée. Voici les voies qui ont admis celui-ci.

fundUn bailleur canadien est enregistré sur le travail.
no affAucune affiliation canadienne : ce travail est invisible pour une base fondée sur la seule affiliation.
Aucune affiliation canadienne. Une base fondée sur la seule affiliation (le devis habituel) n'aurait jamais vu ce travail. C'est l'un des travaux qui justifient l'inversion de la base.

Notice bibliographique

RevueJournal of Applied Physics · 2000
Typearticle
Langueen
DomaineMaterials Science
ThématiqueCopper Interconnects and Reliability
Établissements canadiensnon disponible
Organismes subventionnairesStiftelsen för Strategisk ForskningStiftelsen för Strategisk ForskningMcGill UniversityStrategic Research CouncilU.S. Department of Energy
Mots-clésMaterials scienceEpitaxyTetragonal crystal systemSputter depositionElectromigrationTransmission electron microscopyLattice constantLattice (music)Electron diffractionDiffractionCondensed matter physicsThin filmCrystallographyLayer (electronics)SputteringComposite materialCrystal structureOpticsNanotechnologyChemistry

Résumé

récupéré en direct d'OpenAlex

Highly textured epitaxial metallizations will be required for the next generation of devices with the main driving force being a reduction in electromigration. Herein a model system of 190 nm of Al on a 140 nm layer of W grown on MgO 〈00l〉 substrates was studied. The W layer was 〈00l〉 oriented and rotated 45° with respect to the MgO substrate to minimize the misfit; the remaining strain was accommodated by dislocations, evident in transmission electron microscopy images. From high-resolution x-ray diffraction (XRD) measurements, the out-of-plane lattice parameter was determined to be 3.175 Å, and the in-plane parameter was 3.153 Å, i.e., the W film sustained a strain resulting in a tetragonal distortion of the lattice. XRD pole figures showed that the Al had four fold symmetry and two dominant orientations, 〈016〉 and 〈3 9 11〉, which were twinned with multiple placements on the epitaxial W layer. The driving force for the tilted 〈001〉 and 〈011〉 orientations of Al on W is due to strain minimization through lattice matching. These results show that 〈00l〉 Al deposited at ambient conditions onto W is difficult to achieve and implies that electromigration difficulties are inherent.

Récupéré en direct depuis OpenAlex et désinversé. Les résumés ne sont pas conservés dans cette base de données : les index inversés représentent 8,6 Go des 9,3 Go de texte de la base, et le serveur dispose de 13 Go libres.

Prédiction distillée sur la base complète

Imitation des enseignants

Ni prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.

score de la tête « metaresearch » (Codex)0,000
score de la tête « metaresearch » (Gemma)0,000
Version: codex-gemma-dda1882f352aStatut de validation: machine_predicted_unvalidated
Catégories candidatesCharge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger)
Catégories consensuellesaucune
DomaineSignal candidat: aucune · Signal consensuel: aucune
Devis d'étudeSignal candidat: Expérimental (laboratoire) · Signal consensuel: Expérimental (laboratoire)
GenreSignal candidat: Empirique · Signal consensuel: Empirique
Score de désaccord entre enseignants0,008
Score d'incertitude au seuil0,999

Scores Codex et Gemma par catégorie

CatégorieCodexGemma
Métarecherche0,0000,000
Méta-épidémiologie (sens strict)0,0000,000
Méta-épidémiologie (sens large)0,0000,000
Bibliométrie0,0000,000
Études des sciences et des technologies0,0000,000
Communication savante0,0000,000
Science ouverte0,0000,000
Intégrité de la recherche0,0000,000
Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger)0,0020,000

Scores machine (provisoires)

Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.

Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.

Tête enseignante Opus0,006
Tête enseignante GPT0,219
Écart entre enseignants0,213 · la distance entre les deux têtes enseignantes sur ce seul travail
Statut de validationscore_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle