Novel low-temperature variable inductors using porous anodic alumina
Pourquoi ce travail est dans la base
Une base qui oublie comment elle a trouvé un travail ne peut pas être vérifiée. Voici les voies qui ont admis celui-ci.
Notice bibliographique
Résumé
In this study, the authors study the benefits of using porous anodic alumina (PAA) as a new material to develop tunable RF micro-electro-mechanical systems (MEMS) inductors. To the authors knowledge, this is the first time that PAA material is proposed and successfully used as a structural material for MEMS devices and for fabrication of tunable inductors. The authors explain the fabrication process for producing tri- and bi-layer of PAA/aluminium or PAA/gold. These structures are used as thermal actuators to provide tunability for the inductor. The PAA layer is fabricated using an inexpensive simple procedure at a low-temperature process of 80°C. The experimental results for a tri-layer of Al-PAA-Al inductor exhibits a measured wide tuning range of 31% with inductor variation of 6.5–8.5 nH at 3 GHz and a quality factor of 6 on low-resistivity Si substrate. To improve the quality factor, bimorph layers of gold and PAA are fabricated on alumina substrates. The quality factor has greatly improved. A peak quality factor of over 20 with a tuning range of 18% is demonstrated.
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Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,001 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle