Pulsed laser deposition of c-axis oriented aluminum nitride thin films on silicon
Notice bibliographique
Résumé
Results on the deposition of aluminum nitride thin films on silicon (111) substrates by pulsed laser deposition are reported. A KrF excimer laser was used to ablate in vacuum an AlN target. The intensity and the repetition rate of the laser as well as the substrate temperature were varied and their effects on film properties were determined. The AlN films were characterized by several techniques such as in situ laser interferometry, X-ray diffraction, X-ray photoelectron spectroscopy, atomic force microscopy and transmission electron microscopy. At a deposition temperature of 500 °C and a laser intensity of 1 × 108 W/cm2, highly oriented AlN layers are deposited. Increasing the laser intensity leads to the presence of metallic Al in the films. As temperature is increased from 500 to 920 °C, the growth rate is found to decrease but the crystalline structure as well as the smoothness of the films are both significantly improved. It is also found that a reduction of the growth rate by varying the repetition rate from 30 to 10 Hz leads to a further improvement of the crystalline quality of the AlN layers.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».