Time-resolved measurements of ion energy distributions in dual-mode pulsed-microwave/radio frequency plasma
Pourquoi ce travail est dans la base
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Notice bibliographique
Résumé
In the present work we systematically study the ion energy distribution functions (IEDFs) in argon discharges produced by a combination of pulsed (1–2 kHz) microwave (MW) and continuous wave (cw) radio frequency (rf) excitations. We show that the IEDFs for the pulsed MW discharges are structured, with individual features originating from different periods of the pulse. In the dual-mode MW/rf discharge, significant modulation of the self-bias voltage, Vb, during the MW pulse cycle is observed, which we attribute to changes in the overall plasma impedance: We demonstrate that in the pulsed-MW/cw-rf mode the impedance is highly resistive when the MW signal is on, while it is predominantly capacitive during the period between individual pulses. Using the measured time evolution of Vb in combination with time-resolved measurements of individual ion species, IEDFs at the rf-powered electrode at each instant of the MW pulse have been obtained. This approach is then used to reconstruct the total IEDF in pulsed-MW/cw-rf plasma in order to determine the total energy delivered by the impacting ions.
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Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
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score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle