XPS study of InP/InGaAs/InGaAsP microstructures irradiated with ArF laser in air and deionized water
Notice bibliographique
Résumé
Excimer lasers, due to their compatibility with a large-scale industrial production, are attractive tools for precise processing of photonic and microelectronic materials. In this article, we discuss the effect of ArF excimer laser defect formation on the surface of InP/InGaAs/InGaAsP quantum well (QW) microstructures irradiated in air and deionized (DI) water environments. Structural defects on surfaces of such QW materials have been known to induce vacancy diffusion towards the QW region and lead to the so called quantum well intermixing (QWI) effect during the rapid thermal annealing step. Excimer lasers have been used to create surface defects on InP/InGaAs/InGaAsP microstructure and induce QWI during high temperature annealing. Chemical composition of the QW microstructures irradiated with ArF laser in air and DI water is studied with X-ray photoelectron spectroscopy to investigate both the formation and role of the surface defects in the laser-induced QWI process.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».