Tunable (Ba, Sr)TiO<sub>3</sub> interdigital capacitor onto Si wafer for reconfigurable radio
Notice bibliographique
Résumé
Abstract In this article, the potential feasibility of integrating BST films into Si wafer by adopting tunable interdigital capacitor (IDC) with TiO2 thin film buffer layer is suggested. TiO2 as buffer layer is grown onto Si substrate by atomic layer deposition and the coplanar IDC on BaxSr1−xTiO3(500 nm)/TiO2(50 nm)/high resistivity Si (HR‐Si) is fabricated. BST interdigital tunable capacitors integrated on HR‐Si substrate with high tunability and low loss tangent are characterized for their microwave performances. BST/HR‐Si and BST/TiO2/HR‐Si IDCs show much enhanced tunability values of 31% and 40%, respectively as compared to the value of 21% obtained with BST film on MgO single crystal substrate at the bias of 5 kV/cm. BST/TiO2/HR‐Si structure shows much improved figure of merit of 504.4 as compared to 418.53 and 101.68 of BST/MgO and BST/HR‐Si structure, respectively. © 2007 Wiley Periodicals, Inc. Microwave Opt Technol Lett 49: 2144–2148, 2007; Published online in Wiley InterScience (www.interscience.wiley.com). DOI 10.1002/mop.22657
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,002 | 0,001 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».