Space charge layer dynamics at oxide-semiconductor interfaces under optical modulation: Theory and experimental studies by non-contact photocarrier radiometry
Notice bibliographique
Résumé
The dynamic theory of the optically modulated space charge layer (SCL) resulting from band-bending at a Si - SiO 2 interface was developed in terms of the density of interface charges occupying bandgap energy states. Expressions were derived for these interface charge densities, interacting with the free carrier-density-wave generated in the SCL and in the quasi-neutral region (hulk) by an intensity-modulated super-bandgap laser. The PCR theory incorporating these effects was further developed. It was found to involve the dc, fundamental, and entire harmonic spectrum of the excitation frequency as a result of the optical modulation of the curvature of the energy bands and the SCL width at the interface. PCR was used experimentally with a harmonically modulated low-power laser pump and a superposed dc super-bandgap optical bias (a secondary laser beam) to control and monitor the space-charge-layer width in oxidized p-Si - SiO 2 and n-Si - SiO 2 interfaces (wafers) exhibiting charged interface-state related band-bending. The application of the theory to the experiments yielded the various transport parameters of the samples as well as depth profiles of the SCL exhibiting complete (p-type Si) or partial (n-type Si) band-flattening, to a degree controlled by the widely different minority carrier capture cross-section at each interface. The uncompensated charge density at the interface was also calculated from the theory.
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Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,001 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,001 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
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score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
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