Erbium doped silicon rich silicon oxide luminescent thin films deposited by ECR-PECVD
Notice bibliographique
Résumé
The development of monolithically integrated optoelectronics in silicon has been hindered to date primarily because of silicon's inefficient optical emission properties. Recently, however, nanostructured systems exploiting quantum confinement effects have shown the potential to circumvent this problem. In this study, silicon-rich silicon oxide (SiOx, x<2) thin films doped with erbium have been deposited on silicon substrates by electron cyclotron resonance plasma enhanced chemical vapour deposition (ECR-PECVD). The formation of silicon nanoclusters along with optically active erbium ion complexes during high temperature annealing results in strong erbium photoluminescence near a wavelength of 1.54 μm. A portion of the deposition parameter space for the ECR-PECVD system has been mapped in an attempt to optimize the films for this luminescence. The resulting films ranged in composition from 0% to 22% excess silicon and 0.45% to 3.7% erbium, as determined by Rutherford Backscattering Spectroscopy. The effects of annealing were investigated between 600 oC and 1000 oC under flowing nitrogen gas. The 1.54μm emission was found to be enhanced by the presence of excess silicon, reaching a maximum at ~5-8 atomic % excess and an 800 oC anneal. This result strongly suggests the sensitization of infrared, erbium luminescence by silicon nanoclusters. The films exhibited an additional blueviolet light emission which has also been attributed to the erbium dopant. The visible and infrared luminescence signals were found to occur in inverse proportion to each other with the visible signal decreasing as the amount of silicon excess increases.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».