Ultrahigh vacuum glancing angle deposition system for thin films with controlled three-dimensional nanoscale structure
Notice bibliographique
Résumé
An ultrahigh vacuum apparatus for the deposition of thin films with controlled three-dimensional nanometer-scale structure is described. Our system allows an alternate, faster, cheaper way of obtaining nanoscale structured thin films when compared to traditional procedures of patterning and etching. It also allows creation of porous structures that are unattainable with known techniques. The unique feature of this system is the dynamic modification of the substrate tilt and azimuthal orientation with respect to the vapor source during deposition of a thin film. Atomic-scale geometrical shadowing creates a strong directional dependence in the aggregation of the film, conferring control over the resulting morphological structure on a scale of less than 10 nm. Motion can create pillars, helixes, zig–zags, etc. Significant features of the apparatus include variable substrate temperature, insertion and removal of specimens from atmospheric conditions without venting the deposition system, computer controlled process parameters, and in situ analysis capabilities. The deposition system was successfully employed for the fabrication of a variety of nanostructured thin films with a wide range of potential applications.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,001 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,001 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,001 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,001 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,001 |
| Intégrité de la recherche | 0,001 | 0,001 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,003 | 0,002 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».