Effect of process conditions on the microstructural formation of dc reactively sputter deposited AlN
Notice bibliographique
Résumé
Thin film aluminum nitride (AlN), because of its attractive properties, is a material with many applications. Its microstructure and hence properties are greatly influenced by the deposition process conditions. In this work, AlN was reactively deposited in a dc magnetron sputtering system at different proportions of nitrogen in the process gas mixture and at different process conditions. The microstructure and composition of the films were analyzed using x-ray diffraction data, energy dispersive spectroscopy, and scanning electron microscopy. Results show that for a process gas pressure of 0.67 Pa, a magnetron power of 100 W, and a substrate-target distance of 10 cm, a near stoichiometeric AlN can be prepared at nitrogen proportions as low as 20%. At these process conditions, (002) was the preferred crystal orientation. Dense fibrous structures were obtained, especially at low deposition rates with high proportions of nitrogen. Increase in magnetron power and decrease in distance result in a more porous structure. High kinetic energies (average) of the sputtered Al particles and high deposition rates tend to favor AlN(101) formation, while low kinetic energies of the Al particles and low deposition rates generally favor more of the AlN(100) formation.
Récupéré en direct depuis OpenAlex et désinversé. Les résumés ne sont pas conservés dans cette base de données : les index inversés représentent 8,6 Go des 9,3 Go de texte de la base, et le serveur dispose de 13 Go libres.
Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,001 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,001 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,001 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».