MétaCan
Menu
Retour à la cohorte
Enregistrement W2075825080 · doi:10.1103/physrevb.81.045406

Resistivity of thin Cu films coated with Ta, Ti, Ru, Al, and Pd barrier layers from first principles

2010· article· en· W2075825080 sur OpenAlex

Pourquoi ce travail est dans la base

Une base qui oublie comment elle a trouvé un travail ne peut pas être vérifiée. Voici les voies qui ont admis celui-ci.

affAu moins un auteur déclare une institution canadienne dans l'instantané OpenAlex épinglé.

Notice bibliographique

RevuePhysical Review B · 2010
Typearticle
Langueen
DomaineMaterials Science
ThématiqueCopper Interconnects and Reliability
Établissements canadiensMcGill University
Organismes subventionnairesnon disponible
Mots-clésElectrical resistivity and conductivitySpecular reflectionMaterials scienceScatteringSurface roughnessCondensed matter physicsThin filmSurface finishComposite materialNanotechnologyOpticsPhysics

Résumé

récupéré en direct d'OpenAlex

We present an atomistic first-principles calculation for the resistivity of rough Cu thin films coated with barrier layers of Ta, Ti, Ru, Al, and Pd. A significant difference in resistivity due to different barrier metals is found. Ti, Ta, and Ru barriers increase the resistivity whereas Al and Pd lower the resistivity, in comparison with that of bare Cu films having the same degree of roughness disorder. It is found that Al/Pd barrier atoms produce density of states (DOS) that match rather well with the DOS of Cu atoms on a Cu film with a perfectly flat surface while the DOS of Ti, Ta, and Ru do not match. Our results suggest that the geometrical roughness on the Cu film that causes diffuse scattering, can be ``smoothed'' out electronically by certain barriers such that the surface scattering becomes more specular.

Récupéré en direct depuis OpenAlex et désinversé. Les résumés ne sont pas conservés dans cette base de données : les index inversés représentent 8,6 Go des 9,3 Go de texte de la base, et le serveur dispose de 13 Go libres.

Prédiction distillée sur la base complète

Imitation des enseignants

Ni prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.

score de la tête « metaresearch » (Codex)0,000
score de la tête « metaresearch » (Gemma)0,001
Version: codex-gemma-dda1882f352aStatut de validation: machine_predicted_unvalidated
Catégories candidatesaucune
Catégories consensuellesaucune
DomaineSignal candidat: aucune · Signal consensuel: aucune
Devis d'étudeSignal candidat: Expérimental (laboratoire) · Signal consensuel: Expérimental (laboratoire)
GenreSignal candidat: Empirique · Signal consensuel: Empirique
Score de désaccord entre enseignants0,362
Score d'incertitude au seuil0,818

Scores Codex et Gemma par catégorie

CatégorieCodexGemma
Métarecherche0,0000,001
Méta-épidémiologie (sens strict)0,0000,000
Méta-épidémiologie (sens large)0,0000,000
Bibliométrie0,0000,000
Études des sciences et des technologies0,0000,000
Communication savante0,0000,000
Science ouverte0,0000,000
Intégrité de la recherche0,0000,000
Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger)0,0010,000

Scores machine (provisoires)

Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.

Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.

Tête enseignante Opus0,016
Tête enseignante GPT0,277
Écart entre enseignants0,261 · la distance entre les deux têtes enseignantes sur ce seul travail
Statut de validationscore_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle