Reactive pulsed laser deposition of high-<i>k</i> silicon dioxide and silicon oxynitride thin films for gate-dielectric applications
Notice bibliographique
Résumé
We have successfully developed two reactive pulsed laser deposition (PLD) processes for the growth of high-k SiO2 and SiOxNy thin films. At a KrF laser intensity of 3×108 W/cm2, both SiO2 and SiOxNy films have been deposited by ablating a silicon target in a reactive gas atmosphere (O2 and O2/N2 mixture, respectively) on both Si (100) and Pt-coated Si substrates. Two key issues are presented here, namely (i) the effect of the deposition temperature (Td in the 20–450 °C range) and (ii) the effect of the N incorporation (in the 0.3–20 at. % concentration range) on the microstructure and electrical properties of PLD SiO2 and SiOxNy thin films, respectively. For the PLD-SiO2 films, 300 °C has been identified as the optimal deposition temperature that yields stoichiometric ([O]/[Si]≈1.9), hydrogen-free films with a low local disorder, a highly dense microstructure and a dielectric constant (k) higher than that quoted for thermally grown SiO2. On the other hand, the PLD SiOxNy films containing 20 at. % of N have exhibited a dielectric constant as high as ∼7. A rather good agreement is obtained between the k values deduced from the Poole–Frenkel emission (PFE) model and those obtained from direct impedance measurements, confirming thereby that the PFE remains the predominant conduction mechanism in the PLD SiOxNy films.
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Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,001 | 0,001 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,001 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
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score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».