Sub-100°C a-Si:H thin-film transistors on plastic substrates with silicon nitride gate dielectrics
Notice bibliographique
Résumé
Fabrication on thin-film transistors (TFTs) on flexible plastic substrates for large-area imagers and displays has been made possible by lowering the deposition temperatures, which reduces the thermal deformation of plastic substrates, greatly facilitating substrate preparation and device patterning. Furthermore, at extremely low deposition temperatures, much wider variety of low-cost substrates, plastics or otherwise, are available for use. In this article, we report on a-Si:H TFTs fabricated at 75°C on glass and plastic substrates. The TFTs were fabricated using inverted–staggered topology, in a full wet etch process. The TFT structures consisted of 140nm of sputtered Mo for gate, 380nm of plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD) a-SiNx:H gate dielectric optimized for 75°C, 50nm of PECVD a-Si:H channel material, 50nm of PECVD n+ a-Si:H for source∕drain contacts, and sputtered Al for contact metallization. Current–voltage characteristics were measured, and relevant transistor parameters were calculated. TFTs exhibited the leakage current below 10−12A, and on∕off current ratio exceeding 105. The results were compared to those for high temperature a-Si:H TFTs, and the differences are discussed.
Récupéré en direct depuis OpenAlex et désinversé. Les résumés ne sont pas conservés dans cette base de données : les index inversés représentent 8,6 Go des 9,3 Go de texte de la base, et le serveur dispose de 13 Go libres.
Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,001 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,001 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,001 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,002 | 0,003 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,002 |
| Communication savante | 0,000 | 0,001 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,002 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».