Novel approach for microassembly of three-dimensional rotary MOEMS mirrors
Notice bibliographique
Résumé
We present a novel approach to construct 3-D 1×N rotary micromirrors, which are fundamental components in optical switching systems. A rotary micromirror consists of two microparts: a rotary micromotor and a micromirror. Both of the two microparts are fabricated with PolyMUMPs,TM (MEMSCAP, Research Triangle Park, North Carolina), a surface micromachining process. A sequential robotic microassembly process is developed to join the two microparts together to construct the 3-D device. To achieve high positioning accuracy and strong mechanical connection, the micromirror is joined to the micromotor using an adhesive mechanical fastener. The mechanical microjoint has self-alignment capability and provides a temporary joint between the two microparts. The adhesive bonding creates a strong permanent connection between the two microparts. The adhesive mechanical fastener does not require extra supporting plates to fix the micromirror, which simplifies the microassembly process and makes it possible to automatically assemble the rotary micromirror. A hybrid manipulation strategy, which includes pick-and-place and pushing-based micromanipulations, is utilized to assemble the micromirror onto the micromotor. The pick-and-place manipulation has the ability to globally position the micromirror with multiple degrees of freedom. The pushing-based manipulation can achieve high positioning accuracy. This novel approach provides great flexibility and high accuracy for assembling the complex micromirror.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,001 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,001 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».