Void evolution in silicon under inert and dry oxidizing ambient annealing and the role of a Si1−xGex epilayer cap
Notice bibliographique
Résumé
Voids were formed in silicon (Si) and silicon germanium/silicon (Si1−xGex/Si) samples containing 5% or 9% Ge (at. %) by 30 keV, 5 × 1016 cm−2 helium (He+) implantation followed by annealing in nitrogen (N2) or dry oxygen (O2) atmospheres in the temperature range 960–1110 °C. Si1−xGex thicknesses were 60 nm and 20 nm for 5% and 9% Ge, respectively. He+ implantation energy was set such that in Si1−xGex/Si samples voids were formed inside the Si substrate. An increase in annealing temperature resulted in an increase in the average void diameter and decrease in the average void density. Due to the presence of implantation damage and the relatively high temperature anneals, Ge diffusion occurs, which results in a stress gradient in the sample that interacts with the void layer. The presence of Ge also results in weaker Si-Ge bonds (compared to Si-Si bonds). This leads to an increase in the rate of cavity migration providing a likely explanation for the increase in the average void diameter and decrease in the average void density in Si1−xGex/Si samples when compared to the similarly prepared Si samples. No impact on the void evolution process was observed as a result of changing the anneal atmosphere from N2 to dry O2.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».