THB‐filled monolithic rectangular waveguides for millimeter wave applications
Notice bibliographique
Résumé
A monolithic wafer‐level dielectric‐filled rectangular waveguide for millimeter‐wave applications is designed and fabricated. Unlike the existing wafer‐level rectangular waveguides that are based on hybrid integration techniques to assemble the waveguide, the three‐step fabrication process of the proposed waveguide enables the simultaneous monolithic fabrication of the dielectric‐filled waveguide as well as planar circuitry on one substrate. The maximum temperature during the entire fabrication process stays lower than 200 °C which is desirable for integrated circuit (IC) fabrication. Besides, the RF performance of the presented waveguide only depends on the RF properties of the filling dielectric not the carrier substrate (as in the case of Substrate Integrated Waveguides), which makes it ideal for silicon micro‐fabrication technology. A negative‐tone thick photoresist called THB N151 which can reach a thickness of 90 μm by single spinning is used and characterised. The results show a relative permittivity of ɛ r ′ = 3 and a loss tangent of tan δ = 0.018 for THB 151 which surpasses the RF performance of the highly used SU8 photoresist. An average insertion loss of 0.21 dB/mm is measured for the THB‐filled waveguide for the frequency range of 35–50 GHz. To perform the wafer‐level measurements, the waveguide is integrated with CPW to rectangular transition. Furthermore, it has been illustrated that other monolithic waveguide structures such as Turn or Y‐junction can be potentially developed by using the proposed solution.
Récupéré en direct depuis OpenAlex et désinversé. Les résumés ne sont pas conservés dans cette base de données : les index inversés représentent 8,6 Go des 9,3 Go de texte de la base, et le serveur dispose de 13 Go libres.
Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,001 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,001 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».