Direct photopatterning of metal oxide materials using photosensitive organometallic precursor films
Notice bibliographique
Résumé
A novel class of photosensitive organometallic precursor materials is used to pattern thin film mixed-metal oxide structures. In this work a photosensitive organometallic precursor is coated onto a silicon substrate and exposed to ultraviolet light through a mask to form patterned oxide structures. This is a negative-tone process in which the unexposed areas can be washed away using a developer solvent. In this work, lithographic contrast curves were measured to characterize the sensitivity and contrast of thin films composed of a mixture of the organometallic precursors for the oxides barium, strontium and titanium. Experiments directed at finding methods to increase the photo-speed of these materials were also conducted. It was found that partial pre-exposure conversion of these films using thermal baking could be used to enhance the sensitivity of these materials. A pre-exposure bake performed at 150 degrees C for 15 seconds was found to decrease the required exposure dose by a factor of two. Dielectric properties were measured for photochemically converted oxide films via electrical measurements on parallel plate capacitor devices. X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) was used to quantify the relative amounts of carbon present in the finished films, and it was determined that thermally processes films had higher levels of carbon contamination.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,001 | 0,001 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,001 | 0,001 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,001 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».