A 50nm high-k poly silicon gate stack with a buried SiGe channel
Notice bibliographique
Résumé
This report presents high-k poly ring oscillators with a performance of τ=16.2 ps/st at 6E-6A/st for Lg=80 nm. This was achieved by using a SiGe channel for nFET and pFET. A minimum device length of 50 nm was built by using this technique. The transistors reach Ion=120μA/μm at Ioff=20 pA/mum with Tinv=2.4 nm, resulting in a normalized delay of 8.7 ps (Vdd=1.0 V). This is the best high-k poly pFET performance published so far (~Ion=220μA/μm at Vdd=-1.2V). We demonstrate the combination of the SiGe channel with common performance enhancement techniques like stress liners and rotated channel as used in the hybrid oriented substrate technique. The buried channel improves short channel effects and has no reliability trade off. Although hole mobility is enhanced in SiGe channel transistors, further gain was observed in narrow width structures. Peak mobility can be up to 130 cm2/Vs for pFET, extending the universal mobility for silicon. After investigating Vt and short channel effects we are able to show, that half of the gain is caused by more efficient stress in narrow width structures. The other half is attributed to EPI loading effects in small structures. Fluorine I/I in the well improves NBTI behavior by more than one decade in time.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».