Highly conductive n+ hydrogenated microcrystalline silicon and its application in thin film transistors
Notice bibliographique
Résumé
n + μc- Si:H films were deposited using 13.56 MHz plasma enhanced chemical vapor deposition from a gas mixture of silane, phosphine, and hydrogen. To study the effect of deposition conditions and thickness dependence on film properties, and to optimize deposition regimes, we varied the rf power and doping ratio for two different hydrogen dilutions. The film properties were investigated using Raman, x-ray diffraction, secondary-ion-mass spectroscopy, and optical transmittance measurements, as well as dark conductivity. The growth mechanism for a formation of n+ μc-Si:H is explained in terms of a hydrogen dilution effect using the combination of surface diffusion and selective etching models. The optimal conductivity [25 (Ωcm)−1] 50 nm n+ μc-Si:H film was obtained with 99.6% hydrogen dilution of silane. Thin film transistors with this n+ μc-Si:H ohmic contact layer demonstrate a device mobility of 0.9 cm2/Vs, a threshold voltage of 3 V, an ON/OFF current ratio of above 107, a subthreshold slope of 0.5 V/dec, and a leakage current of the order of 10−13 A.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,001 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,001 | 0,002 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,001 |
| Communication savante | 0,000 | 0,001 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,001 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».