Sputter-etching characteristics of barium–strontium–titanate and bismuth–strontium–tantalate using a surface-wave high-density plasma reactor
Pourquoi ce travail est dans la base
Une base qui oublie comment elle a trouvé un travail ne peut pas être vérifiée. Voici les voies qui ont admis celui-ci.
Notice bibliographique
Résumé
The etching of barium–strontium–titanate (BST) and bismuth–strontium–tantalate (SBT) deposited using a pulsed laser deposition technique has been investigated using a nonreactive (argon) surface-wave high-density plasma source. The etch rate of the rf-biased thin films was determined as a function of the self-bias voltage, of the magnetic field intensity and of the gas pressure. It was found that high etch rates with a good selectivity over resist can be achieved without any plasma chemistry, provided the plasma is operated in the very low pressure regime (i.e., below 1 mTorr). For SBT, etch rates as high as 3000 Å/min with a selectivity of 0.2 over HPR-504 photoresist were obtained with self-bias voltages lower than 150 V. It is also found that even though BST and SBT present similar sputter-etching characteristics, SBT is etched about two times faster than BST as a result of the difference in the atomic density of each material.
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Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,001 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,001 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,001 | 0,001 |
| Études des sciences et des technologies | 0,001 | 0,002 |
| Communication savante | 0,000 | 0,001 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,001 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle