Construction of a 3D MEMS Microcoil Using Sequential Robotic Microassembly Operations
Notice bibliographique
Résumé
This paper describes the contruction of an out-of-plane MEMS (Micro-Electro Mechanical System) microcoil, by assembling together multiple surface micromachined microparts. A microgripper, which is bonded to the end-effector of a robotic workstation, is able to remove a micro-part from a MEMS chip, reorient the micro-part in space, move it to a secondary location, and join it to another micro-part. In this way, complex 3D microstructures can be assembled from a set of initially planar and parallel micro-parts. The microcoil is built from four loop elements, each 200 μm tall by 140 μm wide. The loop is closed by a base structure on the substrate, and the loops are spaced 50 μm apart. This four-loop microcoil is 200 × 140 × 200 μm in size. Using the described microassembly method, it is possible to fabricate microcoils with many loop elements of various sizes, spaced as closely as 25 μm apart.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».