Simulation and Characterization of a Novel Large Stroke Micromirror
Notice bibliographique
Résumé
This paper reports on the simulation and characterization of a microelectromechanical system (MEMS) micromirror fabricated with PolyMUMPs. The overall diameter of the hexagonal micrimirror, including mirror plate and 3 supporting cantilevers fixed around, is 450um. A 3D model is built in finite element method (FEM) with COMSOL. Simulations of the elevated height of mirror plate, pull-in voltage and eigenfrequency of the micromirror are carried out. The static and dynamic performances of the fabricated micromirror are characterized by Veeco Optical Profiler and Polytek MEMS System Analyzer. The comparison between measurement and simulation exhibits good concordance. Surface topography measurement shows the elevated height and stress-induced concave deformation of mirror plate almost the same scale as demonstrated in FEM simulation. The Pull-In voltages are measured to be around 32V in current-voltage curve which is almost the same as in FEM simulation with one electrode biased. The fundamental resonant frequency is measured to be 4.3k Hz in torsional motion and 4.9k Hz in piston motion.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».