Optimization of Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition Processes for Oxides, Nitrides and Metals in the Oxford Instruments FlexAL Reactor
Notice bibliographique
Résumé
Hafnium oxide films deposited on silicon wafers from TEMAH and O2 plasma showed saturation at growth rate per cycle of 1.1Aå, which was independent of the plasma conditions. The same film deposited thermally using H2O as the oxidant saturated at 0.8Aå/cycle. By varying the plasma exposure time the compositional ratio of [O]/[Hf], as calculated from RBS measurements, changed from 2.0 to 2.13. The carbon content in plasma HfO2 films was < 2% compared to 8% in thermal HfO2 films. Titanium nitride films deposited on silicon wafers from TiCl4 and N2 / H2 plasma showed saturation at 0.33Aå/cycle, which was independent of plasma conditions and a resistivity of <170µΩ cm at 350{degree sign}C deposition temperature. The stoichiometry of the films can be changed from being slightly nitrogen rich to titanium rich by varying the N:H ratios in the plasma and limiting the amount of nitrogen available for the reaction. The chlorine impurity in TiN varied according to plasma exposure time (2.6% to 1.2%) and N2:H2 gas ratio in the plasma, with a corresponding change in resistivity (200µΩ - 150µΩ).
Récupéré en direct depuis OpenAlex et désinversé. Les résumés ne sont pas conservés dans cette base de données : les index inversés représentent 8,6 Go des 9,3 Go de texte de la base, et le serveur dispose de 13 Go libres.
Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».