Dielectric properties of amorphous hydrogenated silicon carbide thin films grown by plasma-enhanced chemical vapor deposition
Pourquoi ce travail est dans la base
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Notice bibliographique
Résumé
The dielectric properties have been determined for stoichiometric amorphous hydrogenated silicon carbide (a-SiC:H) films grown by means of the plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD) technique. The dielectric constant, dielectric loss, breakdown voltage, and current–voltage (I–V) characteristics of the a-SiC:H PECVD films were systematically determined for various film thicknesses in the 90–1400 nm range. The PECVD a-SiC:H films exhibit not only a dielectric constant as high as 14 but also relatively high breakdown field values around 3 MV/cm. The dielectric constant of the a-SiC:H films was found to remain almost constant over all the investigated frequency range of 1 kHz to 13 MHz, while it decreases as the film thickness is diminished. The analysis of the I–V characteristics of the a-SiC:H films has revealed the existence of two different conduction mechanisms depending on the applied voltages. While exhibiting an ohmic conduction in the low-field region (<0.05 MV/cm), the film conduction at high fields (>0.25 MV/cm) is dominated by the Poole–Frenkel effect. In the low-field region, the conductivity of the a-SiC:H films was found to decrease exponentially from 10−10 S/cm to about 10−12 S/cm as the film thickness is increased from 90 to 1400 nm. At high fields, a thermal breakdown of the a-SiC:H films occurred at about 3 MV/cm as a consequence of thermal instabilities induced by Joule heating. The excellent dielectric properties of the PECVD a-SiC:H films are seen to be a consequence of their high density and low defect concentration.
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Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
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score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle