Laser infrared photothermal radiometry of electronic solids: Principles and applications to industrial semiconductor Si wafers
Notice bibliographique
Résumé
The physical principles and application case studies of the novel diagnostic technique of laser infrared photothermal radiometry (PTR) of semiconductors are presented. Following superband gap optical excitation, the signal consists of two contributions, one due to the de-exciting carrier density (plasma wave) and another from direct absorption and heating of the lattice (thermal wave). Multiparameter fits to frequency-domain amplitude and phase data have been developed to reliably measure recombination lifetime, τ surface recombination velocities (front and back surface), electronic, and thermal diffusivities. Applications case studies are presented, which demonstrate that lifetime measurements using PTR provide a most sensitive, convenient, and nonintrusive, remote industrial semiconductor metrology. The new metrology combines the features of several laboratory and commercial techniques currently available for industrial wafer (substrate and process) characterization (e.g., thermoreflectance, microwave reflectance, and surface photovoltage). The technology is capable of being used as a sensitive control of ion implantation, contamination monitor during oxidation and wafer cleans, and photoexcited carrier recombination lifetime measurements.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,001 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,001 | 0,002 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,001 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».