Formation and Annihilation of Hydrogen Related Donor States in Proton Implanted and Subsequently Plasma Hydrogenated N-Type Float Zone Silicon
Notice bibliographique
Résumé
The formation of hydrogen-related donor states was studied in proton-implanted and hydrogen plasma-treated Float-Zone silicon. H-implantations were executed at energies of 1 or 3 MeV, and fluences of 1x10E14 1/cm2. 13.56-MHz RF-plasma hydrogenations were done at 150 W for 15 min or 1 hour at substrate temperatures between 350 C and 500 C. Analysis was done by two-point-probe spreading-resistance measurements. H-plasma exposure for 15 min caused an enhanced donor concentration close to the projected ion range Rp. The donor states can be related to hydrogenated vacancy defects. Near the wafer surface n-type doping is also enhanced. Applying higher substrate temperatures (> 400 C) during plasma exposure, acceptor-like states overcompensate for the enhanced n-type doping near the surface. After 1-hour H-plasma exposure excessive donor states in the wafers subsurface region are completely annealed. At the surface n-type doping is still overcompensated for by acceptor-like defects attributed to hydrogenated vacancy defect clusters.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».