Design of Electrical Interconnect for SU-8 Microfluidic Systems
Notice bibliographique
Résumé
In this paper, metal press-together contacts for electric interconnection between free-standing polymer microfluidic substrates is presented. In previous work, we have demonstrated fabrication and mechanical assembly and fluidic pressurization of interlocking SU-8 chip-to-chip connections. The addition of electronic routing to the microfluidic polymer chips and electronic interconnect between chips via polymer dip packaging would facilitate microfluidic and microelectronic integration. Towards this goal, metal press-on contacts are presented whereby two polymer substrates containing metals lines can be contacted while maintaining electrical continuity. A 50 nm thick chromium layer and 100 nm thick gold are patterned on enclosed polymer microchannels via metal etching. The metal lines are aligned in parallel and along side the whole length of the microchannels on each fluidic chip. Individual metal lines were tested for electrical resistance and continuity. For the 9000 mum long, by 500 mum wide, and 0.1 mum thick gold lines, the resistance varied from 7.6 to 9.6 Omega, which is on the same order of magnitude as the theoretical resistance of 4.4 Omega. Preliminary results show that removal of the SU-8 platform from the substrate, thus creating free-standing SU-8 microchips with enclosed channels, causes the resistance to increase to 550 Omega due to stress through reduction of the surface area of the conduction path. When the released SU-8 platform is aligned with another platform with metal lines in pressed together contact, electrical continuity is maintained.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,001 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».