Fabrication of PZT sol gel composite ultrasonic transducers using batch fabrication micromolding
Notice bibliographique
Résumé
A new micromolding technique for fabricating high-frequency (>20 MHz) ultrasound transducers has been developed. The technique combines sol gel processing with an epoxy-based, photo-resist Su-8 micromold to form miniature PZT structures. An advantage of this technique as compared to more traditional lithographic galvanforming and abforming (LIGA) processing is that the intermediate step of producing a nickel-plated mold is avoided. Instead, the PZT is formed directly using a photo-resist. The resulting structures can be fabricated with aspect ratios up to 3:1 and thicknesses up to 50 micro. We have successfully fabricated 50-micro-thick linear array elements with 23-micro-wide elements separated by 15 kerfs. A 50-micro thick, 2.5-mm diameter, five-element annular array structure with 20-micro kerfs also has been fabricated. The micromolded PZT composite has a density of 5.7-5.8 micro 0.4 g/cm3 and a thickness coupling coefficient as high as 0.32.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,001 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,001 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,001 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».