Single step direct-write photomask made from bimetallic Bi/In thermal resist
Pourquoi ce travail est dans la base
Une base qui oublie comment elle a trouvé un travail ne peut pas être vérifiée. Voici les voies qui ont admis celui-ci.
Notice bibliographique
Résumé
A new single step direct-write photomask process has been proposed by using Bi/In bimetallic thermal resist which turns almost transparent with high energy laser exposure. The Bi over In metallic films, each layer approximately 40 nm thick, were DC-sputtered onto quartz mask plate substrates in a single pump-down chamber. Before laser exposure the Bi/In had 2.91 Optical Density. Bi/In is a bimetallic thermal resist and hence shows near wavelength invariance exposure sensitivity from Near IR to UV light. For Bi/In exposure, up to 0.9 W Argon laser (514 nm) beam was focused by an f = 50 mm lens to a 10 micron spot. When writing a mask the Bi/In coated sample was placed on a computer-controlled high accuracy X-Y table and the pattern was raster-scanned by the laser at 10 mm/sec. After exposure the Bi/In film became nearly transparent (0.26 OD) at I-line (365 nm) wavelength, and remained conductive. Bi/In photomasks have been used together with a standard mask aligner to pattern the oxide and Al layer during the manufacturing of test solar cell devices in the lab. Experiments also showed that annealing the as-deposited films at 90°C before laser exposure increase the Bi/In transparency.
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Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,001 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,001 | 0,001 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,001 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,001 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle