Micropatternable, Electrically Conducting Polyaniline Photoresist Blends for MEMS Applications
Notice bibliographique
Résumé
We present preparation and electrical characterization of Polyaniline (PANi) SU8 micropatternable photoresist blend for MEMS applications. The blend was prepared by shear mixing of PANi and SU8-2010 at an rpm of 1000 for 15 hours. The composite was spin coated on a silicon wafer at an 850 rpm in order to achieve a thickness of 50µm, followed by soft baking at 70 {degree sign}C for 35 minutes and cooling to room temperature. The desired structures were patterned using masked UV exposure for 60 seconds. Full cross linking of PANi SU-8 blend was achieved by a post-exposure bake at a temperature of 90{degree sign}C for 25 minutes followed by cooling to room temperature. The desired electrode structures and trace lines were then developed in SU-8 developer (Microchem{trade mark}) for 10 minutes by manual agitation. The fabricated structures were analyzed under SEM and Electron Dispersion X-ray Spectroscopy (EDS) demonstrating that an electrically conductive path is formed by PANI in SU-8 polymer matrix. It was also observed that resistivity of 4×103 Ω-m is achieved at 8.6 weight percentage of PANi in SU-8 polymer matrix.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,001 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,003 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».