Vertical High-$Q$ RF-MEMS Devices for Reactive Lumped-Element Circuits
Notice bibliographique
Résumé
Compact reactive lumped-element circuits fabricated using a single thick metal-layer deep X-ray lithography process are presented. Vertically oriented capacitive features are combined with inductive features in >0.25-mm-thick metal layers to realize lumped-element filter and coupler microstructures operating at up to 12 GHz. Measurements for separate thick metal reactive structures are also presented, including variable capacitors and single-turn square loop inductors. Devices feature impressive vertical structure, including a 77:1 aspect ratio, 1.3-μm-wide cantilever gap structure in 100-μm-thick photoresist. A 0.6-pF capacitor has -factors of 95 at 5.6 GHz and 214 at 3.5 GHz, and a structurally compatible 1.2-nH loop inductor has a -factor of 47 at 6.8 GHz and a self-resonant frequency of 18.8 GHz. Together, these types of devices could form the building blocks for various integrated reactive lumped-element-based circuits.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».