A Novel Method for Bonding of Ionic Wafers
Notice bibliographique
Résumé
A novel method for bonding sapphire, LiNbO/sub 3/, quartz and glass wafers with silicon using the modified surface activated bonding (SAB) method is described. In this method, the mating surfaces were cleaned and nano-adhesion Fe layers were deposited using a low energy argon ion beam simultaneously. The optical images show that the entire area of 4-inch wafers of LiNbO/sub 3//Si was bonded. Such images for other samples show particle induced voids across the interface. The average tensile strength for all of the mating pairs was much higher than 10 MPa. Prolonged irradiation reduces polarization in LiNbO/sub 3/, sapphire, quartz and Al-silicate glasses. Fe and Ar ions induced charge deposition may have resulted in electric field, which was responsible for the depolarization. The lattice mismatch induced local strain was found in LiNbO/sub 3//Si. No such strain was observed in the Al-silicate glass/Si interface probably because of annealing at 573 K for 8 h. The Al-silicate glass/Si interface showed a layer of 2-nm thick. An amorphous layer of 5-nm thick was observed with a layer across the LiNbO/sub 3//Si interface. The EELS spectra confirmed the presence of nano-adhesion Fe layers across the interface. These Fe layers associated with the electric filed induced by ion beam irradiation for prolonged period of time, particularly in Si/LiNbO/sub 3/, might be responsible for the high bonding strength between Si/ionic wafers at low temperature.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».