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Enregistrement W2109028022 · doi:10.1088/0964-1726/16/5/029

Millimeter-sized nanomanipulator with sub-nanometer positioning resolution and large force output

2007· article· en· W2109028022 sur OpenAlex

Pourquoi ce travail est dans la base

Une base qui oublie comment elle a trouvé un travail ne peut pas être vérifiée. Voici les voies qui ont admis celui-ci.

affAu moins un auteur déclare une institution canadienne dans l'instantané OpenAlex épinglé.

Notice bibliographique

RevueSmart Materials and Structures · 2007
Typearticle
Langueen
DomaineEngineering
ThématiqueAdvanced MEMS and NEMS Technologies
Établissements canadiensUniversity of Toronto
Organismes subventionnairesnon disponible
Mots-clésMicroactuatorMicroelectromechanical systemsMaterials scienceMillimeterCompliant mechanismCapacitive sensingMicrometerNanometreElectronic engineeringFinite element methodOpticsNanotechnologyActuatorEngineeringElectrical engineeringPhysicsStructural engineering

Résumé

récupéré en direct d'OpenAlex

Nanomanipulation in space-limited environments (e.g., inside a SEM (scanning electron microscope), and particularly in a TEM (transmission electron microscope)) requires small-sized nanomanipulators that are capable of producing sub-nanometer positioning resolutions and large output forces. This paper reports on a millimeter-sized MEMS (microelectromechanical systems) based nanomanipulator with a positioning resolution of 0.15 nm and a motion range of ± 2.55 µm. An amplification mechanism is employed to convert micrometer input displacements, generated by a conventional electrostatic comb-drive microactuator, into sub-nanometer output displacements. The device has a high load driving capability, driving a load as high as 98 µN without sacrificing positioning performance. Based on the pseudo-rigid-body approach, closed-form analytical models of the minification ratio and stiffness of the amplification mechanism are developed. Finite element simulation and testing results verify that the theoretical models are valid with an error smaller than 6.2% and that the mechanism has a high linearity (± 2.4%). The amplification mechanism and analytical models have general applicability to other MEMS transducer designs. A capacitive displacement sensor is integrated for detecting input displacements that are converted into output displacements via the minimization ratio, allowing closed-loop controlled nanomanipulation. The MEMS-based nanomanipulators are applicable to the characterization/manipulation of nanomaterials and construction of nanodevices.

Récupéré en direct depuis OpenAlex et désinversé. Les résumés ne sont pas conservés dans cette base de données : les index inversés représentent 8,6 Go des 9,3 Go de texte de la base, et le serveur dispose de 13 Go libres.

Prédiction distillée sur la base complète

Imitation des enseignants

Ni prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.

score de la tête « metaresearch » (Codex)0,000
score de la tête « metaresearch » (Gemma)0,000
Version: codex-gemma-dda1882f352aStatut de validation: machine_predicted_unvalidated
Catégories candidatesaucune
Catégories consensuellesaucune
DomaineSignal candidat: aucune · Signal consensuel: aucune
Devis d'étudeSignal candidat: Expérimental (laboratoire) · Signal consensuel: Expérimental (laboratoire)
GenreSignal candidat: Empirique · Signal consensuel: Empirique
Score de désaccord entre enseignants0,063
Score d'incertitude au seuil0,482

Scores Codex et Gemma par catégorie

CatégorieCodexGemma
Métarecherche0,0000,000
Méta-épidémiologie (sens strict)0,0000,000
Méta-épidémiologie (sens large)0,0000,000
Bibliométrie0,0000,000
Études des sciences et des technologies0,0000,000
Communication savante0,0000,000
Science ouverte0,0000,000
Intégrité de la recherche0,0000,000
Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger)0,0000,000

Scores machine (provisoires)

Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.

Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.

Tête enseignante Opus0,007
Tête enseignante GPT0,201
Écart entre enseignants0,194 · la distance entre les deux têtes enseignantes sur ce seul travail
Statut de validationscore_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle