Time dependent breakdown of ultrathin gate oxide
Pourquoi ce travail est dans la base
Une base qui oublie comment elle a trouvé un travail ne peut pas être vérifiée. Voici les voies qui ont admis celui-ci.
Notice bibliographique
Résumé
Time dependent dielectric breakdown (TDDB) of ultrathin gate oxide (<40 /spl Aring/) was measured for a wide range of oxide fields (3.4<|E/sub ox/|<10.3 MV/cm) at various temperatures (100/spl les/T/spl les/342/spl deg/C). It was found that TDDB of ultrathin oxide follows the E model. It was also found that TDDB t/sub 50/ starts deviating from the 1/E model for fields below 7.2 MV/cm. Below 4.8 MV/cm, TDDB t/sub 50/ of intrinsic oxide increased above the value predicted by the E model obtained for fields >4.8 MV/cm. The TDDB activation energy for this type of gate oxide was found to have linear dependence on oxide field. In addition, we found that /spl gamma/ (the field acceleration parameter) decreases with increasing temperature. Furthermore, it was found that testing at high temperatures (up to 342/spl deg/C) and low electric field values did not introduce new gate oxide failure mechanism. It is also shown that TDDB data obtained at very high temperature (342/spl deg/C) and low fields can be used to generate TDDB model at lower temperatures and low fields. Our results (an enthalpy of activation of 1.98 eV and dipole moment of 12.3 e/spl Aring/) are in complete agreement with previous results by McPherson and Mogul. Additionally, it was found that TDDB is exponentially dependent on the gate voltage.
Récupéré en direct depuis OpenAlex et désinversé. Les résumés ne sont pas conservés dans cette base de données : les index inversés représentent 8,6 Go des 9,3 Go de texte de la base, et le serveur dispose de 13 Go libres.
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,003 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle