Niobium and Aluminum Josephson Junctions Fabricated with a Damascene CMP Process
Notice bibliographique
Résumé
We report on the fabrication of Josephson junction and superconducting bridges using a damascene CMP process applied for a first time to superconductors. The demonstrated industrial reliability of damascene CMP processes on large scale semiconductor circuits is a major incentive for our research that should allow large numbers of nanometric Josephson junctions to be fabricated in both Nb and Al, the two main material employed in superconducting quantum computing (qubit) and RSFQ electronics fabrication.We carried out a Chemical-Mechanical Polishing (CMP) process on Nb and Al films deposited on a SiO2 layer patterned with trenches of 100 to 300 nm of nominal depth. The process formed long bridges, 1 to 4 μm wide. The susceptibility and resistive transitions showed that CMP has no observable influence on superconductivity.We have also developed a hybrid technique that uses Al/Al2O3/Al shadow evaporation in the trenches before the damascene CMP process. This allows for high quality “in-situ” junction oxidation with the size reduction benefit provided by the damascene CMP process. We easily reach junctions sizes near 0.5 μm2 which are difficult to fabricate by other methods.We describe these techniques and report on measurements on large bridges and junctions and on the fabrication and measurements of Al and Nb nanobridges.
Récupéré en direct depuis OpenAlex et désinversé. Les résumés ne sont pas conservés dans cette base de données : les index inversés représentent 8,6 Go des 9,3 Go de texte de la base, et le serveur dispose de 13 Go libres.
Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».