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Enregistrement W2115970566 · doi:10.1116/1.2167976

Electrical isolation of electrodes with submicron separation in a digital optical switch

2006· article· en· W2115970566 sur OpenAlexaff
Sandy Ng, S. Abdalla, B. Syrett, Pedro Barrios, W. R. McKinnon, A. Delâge, Ilya Golub, S. Janz, J. Lapointe

Notice bibliographique

RevueJournal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films · 2006
Typearticle
Langueen
DomaineEngineering
ThématiqueSemiconductor materials and devices
Établissements canadiensInstitute for Microstructural SciencesCarleton University
Organismes subventionnairesnon disponible
Mots-clésElectrodeTrenchMaterials scienceShadow maskOptoelectronicsEtching (microfabrication)Current (fluid)Shallow trench isolationIon implantationShadow (psychology)OpticsLayer (electronics)IonElectrical engineeringChemistryNanotechnology

Résumé

récupéré en direct d'OpenAlex

The electrodes in a carrier-injection-based digital optical switch are separated by a gap of less than 1μm. Good switch performance requires minimal current spreading and effective electrical isolation of these two electrodes without perturbing the underlying guided optical fields. Two methods of such isolation are modeled and experimentally compared. One is the etching of an e-beam-defined 0.5-μm-wide trench down to an etch stop layer, and the other is the implanting of oxygen ions using the electrodes as a shadow mask. Electrical simulation results suggest that injected current magnitudes and carrier concentration profiles are similar with both the trench and the ion implant, and so they should be equally effective in preventing current flow between the two branches. However, experimental results show that ion implantation produces better switching contrasts of greater than 20dB. We attribute this to the fact that implantation using the electrodes as a shadow mask results in an injected carrier distribution that more accurately reproduces the shape of the overlying electrode.

Récupéré en direct depuis OpenAlex et désinversé. Les résumés ne sont pas conservés dans cette base de données : les index inversés représentent 8,6 Go des 9,3 Go de texte de la base, et le serveur dispose de 13 Go libres.

Comment cette classification a été obtenuedéplier

Prédiction distillée sur la base complète

Imitation des enseignants

Ni prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.

score de la tête « metaresearch » (Codex)0,000
score de la tête « metaresearch » (Gemma)0,000
Version: codex-gemma-dda1882f352aStatut de validation: machine_predicted_unvalidated
Catégories candidatesaucune
Catégories consensuellesaucune
DomaineSignal candidat: aucune · Signal consensuel: aucune
Devis d'étudeSignal candidat: Expérimental (laboratoire) · Signal consensuel: Expérimental (laboratoire)
GenreSignal candidat: Empirique · Signal consensuel: Empirique
Score de désaccord entre enseignants0,033
Score d'incertitude au seuil0,382

Scores Codex et Gemma par catégorie

CatégorieCodexGemma
Métarecherche0,0000,000
Méta-épidémiologie (sens strict)0,0000,000
Méta-épidémiologie (sens large)0,0000,000
Bibliométrie0,0010,001
Études des sciences et des technologies0,0000,000
Communication savante0,0000,001
Science ouverte0,0000,000
Intégrité de la recherche0,0000,000
Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger)0,0000,000

Scores machine (provisoires)

Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.

Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.

Tête enseignante Opus0,003
Tête enseignante GPT0,211
Écart entre enseignants0,208 · la distance entre les deux têtes enseignantes sur ce seul travail
Statut de validationscore_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle

Classification

machine, non validée

Prédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.

Les modèles n’ont appliqué aucune catégorie : rien dans la taxonomie ne correspondait à ce travail.
Devis d'étudeExpérimental (laboratoire)
Domainenon disponible
GenreEmpirique

Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».

En bref

Citations2
Publié2006
Routes d'admission1
Résumé présentoui

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