Fluorinated aminoalkoxide CuII complexes: new CVD precursors for deposition of copper metal
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Notice bibliographique
Résumé
Volatile low-melting CuII metal complexes of formula Cu[OC(CF3)R1CH2NHR2]2 (R1 = CF3 or CH3; R2 = CH2CH2OMe, Bui, or But) and Cu[OC(CF3)R1CH2NMe2]2 (R1 = CF3 or CH3) have been synthesized and characterized by spectroscopic methods. A single-crystal X-ray diffraction study on Cu[OC(CF3)2CH2NHCH2CH2OMe]2 shows that one methoxyethyl group of the aminoalkoxide ligand forms an intramolecular dative bond to the Cu atom to produce a square-pyramidal geometry at the metal center, while the second is linked to the Cu atom of the adjacent molecule, giving an N2O4 octahedral coordination arrangement. For the second Bui-substituted complex, Cu[OC(CF3)2CH2NHBui]2, the X-ray structural analysis demonstrated an N2O2 square-planar geometry, with one alkoxide oxygen atom forming strong H-bonding to an adjacent water molecule. Metal CVD experiments were carried out, showing that the source reagents Cu[OC(CF3)2CH2NHBui]2, Cu[OC(CF3)2CH2NHBut]2, and Cu[OCMe(CF3)CH2NHBui]2, which possess a secondary amino group, are capable of depositing copper metal at temperatures of 250–300 °C under inert Ar carrier gas, while Cu[OCMe(CF3)CH2NMe2]2, with a tertiary amine group, requires the use of reductive H2 carrier gas to induce metal deposition at lower temperatures.
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Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,001 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,004 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
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score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle