Pressure sensing in vacuum hermetic micropackaging for MOEMS-MEMS
Notice bibliographique
Résumé
Packaging constitutes one of the most costly steps of MEMS/MOEMS manufacturing. Uncooled IR bolometers require a vacuum atmosphere of <10 mTorr to operate at their highest sensitivity. The bolometer response is also dependent on the package temperature. In order to minimize cost, real estate, and power consumption, temperature stabilization is typically not provided to the package. Hence, long-term high-sensitivity operation of IR bolometric radiometers requires a calibration as function of in-package pressure and temperature. A low-cost and accurate means of measuring the pressure in the package without being affected by the operating temperature is therefore needed. The Institut National d'Optique (INO) has developed a low-cost, low-temperature hybrid vacuum micropackaging technology. An equivalent flow rate of 4 × 10−14 Torr L /s for storage at 80°C has been obtained without getter. Even with such low flow, the long-term stabilization of residual pressure variations affects the sensitivity and calibration of the IR bolometers. INO has developed microelectromechanical systems pressure sensors that allow for real-time measurement of package pressure of >1 mTorr and can be integrated with the IR bolometers in a die-level packaging process or microfabricated simultaneously on the same die. We present the typical performance and measurement uncertainty of these pressure sensors along with a reading method that provides a pressure measurement with a dependence on the package temperature as low as 0.7%/°C. A complex reading circuit or temperature control of the packages are not required, making the pressure sensor well adapted for low-cost high-volume production and integration with IR bolometer arrays.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,001 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,001 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,001 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».