Arrays of periodic submicron conductive links in Si covered by SiO<sub>2</sub>formed by polarized laser irradiation
Pourquoi ce travail est dans la base
Une base qui oublie comment elle a trouvé un travail ne peut pas être vérifiée. Voici les voies qui ont admis celui-ci.
Notice bibliographique
Résumé
Arrays of periodic submicron conductive links were fabricated in silicon covered by SiO2 when polarized frequency doubled Nd:YAG pulsed laser irradiation is focused on the gap between two highly doped regions. The principle of the process is based on the fact that the laser forms periodic melting in silicon, thus inducing preferential dopant diffusion and creating an array of fine conductive links between the highly doped regions. A scanning capacitance microscopy (SCM) was employed to detect these submicron structures and to measure their electrical properties. It was found that between two and seven submicron conductive links are observed in a focused spot size of 3 µm and their number depends only on the laser intensity ranging from 3.10 W to 3.75 W, while their average width (151–300 nm) and depth (108–147 nm) strongly depends on both the laser intensity and number of laser pulses. The resistances of these links are between 363–493 Ω and the effective average doping levels are from 1.5 × 1018 to 2.4 × 1019 cm−3.
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Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,001 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,001 |
| Communication savante | 0,000 | 0,001 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle