Large-Stroke Microelectrostatic Actuators for Vertical Translation of Micromirrors Used in Adaptive Optics
Pourquoi ce travail est dans la base
Une base qui oublie comment elle a trouvé un travail ne peut pas être vérifiée. Voici les voies qui ont admis celui-ci.
Notice bibliographique
Résumé
Two microelectrostatic actuators able to produce a repulsive force in the out-of-plane direction are presented in this paper. The electrostatic actuators use an asymmetric electric field surrounding the top and bottom surfaces of the moving fingers to produce a repulsive force. The displacement of translation micromirrors driven by these actuators is not limited by the "pull-in" effect and, therefore, can achieve a large stroke. In addition, the usage of a repulsive force leads to the elimination of the stiction problem. An analytical model relating the displacement of the first actuator to voltage applied is presented. The analytical model and numerical simulations show that a translation micromirror driven by the first actuator can achieve a stroke as large as 6/spl mu/m at a driving voltage of 50 V. The second actuator, suitable for fabrication using Multi-User-MEMS-Processes (MUMPs), is developed. A prototype translation micromirror driven by the second actuator achieved a vertical stroke of 2 /spl mu/m, which is more than three times the stroke of conventional MUMPs translation micromirrors.
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Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,001 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle