The nanogap Pirani—a pressure sensor with superior linearity in an atmospheric pressure range
Pourquoi ce travail est dans la base
Une base qui oublie comment elle a trouvé un travail ne peut pas être vérifiée. Voici les voies qui ont admis celui-ci.
Notice bibliographique
Résumé
We have designed and fabricated a surface micromachined Pirani pressure sensor with an extremely narrow gap between its heater and heatsink (substrate) with superior output linearity in the atmospheric pressure range. The gap size of the device has been reduced to 50 nm by using a layer of PECVD amorphous silicon as a sacrificial layer and a xenon difluoride (XeF2) gas phase etching technique. Such a narrow gap pushes the transition from molecular to continuum heat conduction to pressures beyond 200 kPa. The higher transition pressure increases the measurement range and sensitivity of the gauge in atmospheric pressures. The gas phase etching of the sacrificial layer eliminates stiction problems related to a wet etching process. The active area of the sensor is only a 6 × 50 µm2 microbridge anchored to the substrate at both ends. An innovative fabrication technique was developed which resulted in a virtually flat microbridge with improved mechanical robustness. This process enabled us to have a very well-controlled gap between the microbridge and the substrate. The device was tested in a constant heater temperature mode with pressure ranges from 0.1 to 720 kPa. The heater power was only 3 mW at 101 kPa (atmospheric pressure), which increased to about 8 mW at 720 kPa. The output sensitivity and nonlinearity of the device were 0.55% per kPa at 101 kPa and ±13% of the output full scale, respectively.
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Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle